当前位置：首页 > 科技 > 芯片

日本开发这项新技术，可将SiC晶圆制造成本降低30%！

来源：责编：时间：2023-09-08 17:41:28 251观看

导读由于SiC硬度大和易脆裂等特性，晶锭切割成为制约SiC器件制造核心瓶颈。近期，日本Dry Chemicals开发了一种新的工艺，能够将SiC晶圆的制造成本降低20~30%。该技术的核心是在晶锭上进行开槽，这样可以使得晶圆切片的时候更加平

由于SiC硬度大和易脆裂等特性，晶锭切割成为制约SiC器件制造核心瓶颈。近期，日本Dry Chemicals开发了一种新的工艺，能够将SiC晶圆的制造成本降低20~30%。

该技术的核心是在晶锭上进行开槽，这样可以使得晶圆切片的时候更加平整，从而减少晶圆表面的研磨、抛光等后处理所需的步骤数量。目前，该公司将于10月份开始晶圆代加工，并且对外销售该设备，预计第一年销售5~10台。

该技术的步骤主要是在切割前，先用磨石在晶锭要切割的位置开出一个圆周凹槽，这些凹槽可以充当线锯的导向装置，从而可以更精确地切割晶片。

由于SiC晶体特别坚硬，在切割的时候会发生漂移，如果有凹槽，磨粒可以有效地渗透，从而很难发生漂移，这种方法能够将晶圆表面的损伤控制在最小限度。对于厚度为15mm的晶锭、可以切割20个凹槽，目前该工艺所能切割的最大晶锭厚度为40mm，可以切割75片晶圆。

一般情况下，对晶锭切割后需要对晶圆的端面进行加工刮平，但基于这项工艺的晶锭切割，会直接形成刮平，进一步提高了效率。只需要在切割后立即进行镜面研磨、化学机械抛光（CMP）、清洁和检查即可获得成品。

SiC切割

为了提高良率，近年来不少企业都采用更为先进的激光切割和冷分离技术。

其中英飞凌通过收购一家名为SILTECTRA的科技公司，掌握了SiC的冷切割技术，该切割技术主要分为2个技术环节。首先是用激光照射晶锭剥落层，使SiC材料内部体积膨胀，从而产生拉伸盈利，形成一层非常窄的微裂纹。第二步则是通过聚合物冷却步骤将微裂纹处理为一个主裂纹，最终将晶圆与剩余晶锭分来。该技术能够将材料损失降到最低，并且让单个晶锭可出产的芯片数量翻番。

在激光切割SiC这一领域，国内也有企业正在探索。今年5月，德龙激光表示其已经布局SiC晶锭切割，已经将6英寸的加工时间缩短至15分钟以内，且分片后研磨损耗小于 50 微米，在总体时间上，德龙激光的一锭切出来30片晶圆，大概需要4~5个小时，相对于传统的金刚线则只能切出22、23片晶圆来说，激光切割效率提升了40%左右，目前德龙激光的最大可切割尺寸为8英寸。

（文：化合物半导体市场Jump整理）

▶关于我们

TrendForce集邦咨询是一家横跨存储、集成电路与半导体、晶圆代工、光电显示、LED、新能源、智能终端、5G与通讯网络、汽车电子和人工智能等领域的全球高科技产业研究机构。公司在行业研究、政府产业发展规划、项目评估与可行性分析、企业咨询与战略规划、品牌营销等方面积累了多年的丰富经验，是政企客户在高科技领域进行产业分析、规划评估、顾问咨询、品牌宣传的优质合作伙伴。

上下滑动查看

本文链接：//www.dmpip.com//www.dmpip.com/showinfo-27-8451-0.html日本开发这项新技术，可将SiC晶圆制造成本降低30%！

声明：本网页内容旨在传播知识，若有侵权等问题请及时与本网联系，我们将在第一时间删除处理。邮件：2376512515@qq.com

上一篇：新增6个SiC项目，3家上市公司加码

下一篇： JBD首发单片全彩垂直堆叠Micro LED原型

标签：

热门焦点

CSS单标签实现转转logo

转转品牌升级后更新了全新的Logo，今天我们用纯CSS来实现转转的新Logo，为了有一定的挑战性，这里我们只使用一个标签实现，将最大化的使用CSS能力完成Logo的绘制与动画效果。新logo
三言两语说透柯里化和反柯里化

JavaScript中的柯里化(Currying)和反柯里化(Uncurrying)是两种很有用的技术，可以帮助我们写出更加优雅、泛用的函数。本文将首先介绍柯里化和反柯里化的概念、实现原理和应用
WebRTC.Net库开发进阶，教你实现屏幕共享和多路复用！

WebRTC.Net库：让你的应用更亲民友好，实现视频通话无痛接入！除了基本用法外，还有一些进阶用法可以更好地利用该库。自定义 STUN/TURN 服务器配置WebRTC.Net 默认使用 Google 的
零售大模型“干中学”，攀爬数字化珠峰

文/侯煜编辑/cc来源/华尔街科技眼对于绝大多数登山爱好者而言，攀爬珠穆朗玛峰可谓终极目标。攀登珠峰的商业路线有两条，一是尼泊尔境内的南坡路线，一是中国境内的北坡路线。相
Temu起诉SHEIN，跨境电商战事升级

来源 | 伯虎财经（bohuFN）作者 | 陈平安日前据外媒报道，拼多多旗下跨境电商平台Temu正对竞争对手SHEIN提起新诉讼，诉状称Shein“利用市场支配力量强迫服装厂商与之签订独家
共享单车的故事讲到哪了？

来源丨海克财经与共享充电宝相差不多，共享单车已很久没有被国内热点新闻关照到了。除了一再涨价和用户直呼用不起了。近日多家媒体再发报道称，成都、天津、郑州等地多个共享单
华为发布HarmonyOS 4：更好玩、更流畅、更安全

在8月4日的华为开发者大会2023（HDC.Together）大会上，HarmonyOS 4正式发布。自2019年发布以来，HarmonyOS一直以用户为中心，经历四年多的发展HarmonyOS已
华为Mate 60保护壳曝光：硕大后置相机模组凸起程度有惊喜

这段时间以来，关于华为新旗舰的爆料日渐密集。据此前多方爆料，今年华为将开始恢复一年双旗舰战略，除上半年推出的P60系列外，往年下半年的Mate系列也将
iQOO Neo8 Pro评测：旗舰双芯加持最强性能游戏旗舰

【Techweb评测】去年10月，iQOO推出了一款Neo7手机，该机搭载了联发科天玑9000+，配备独显芯片Pro+，带来了同价位段最佳的游戏体验，一经上市便受到了诸多用